разновидность электронного микроскопа - высоковакуумный высоковольтный прибор, в котором изображение от ультратонкого объекта (толщиной порядка 500 нм и менее) формируется в результате взаимодействия пучка электронов с веществом образца при прохождении через него насквозь.
Принцип действия просвечивающего электронного микроскопа практически аналогичен принципу действия оптического микроскопа,
только в первом используются магнитные линзы вместо стеклянных и электроны вместо фотонов. Пучок электронов, испускаемый электронной пушкой, фокусируется с помощью конденсорной линзы в маленькое пятно ~2-3 мкм на образце и после прохождения через образец фокусируется с помощью объективной линзы для получения проекции увеличенного изображения на
специальном экране или детекторе. Очень важным элементом микроскопа является апертурная диафрагма, расположенная в задней фокальной плоскости объективной линзы. Она определяет контраст изображения и разрешающую способность микроскопа. Формирование контраста изображений в ПЭМ можно объяснить следующим образом. При прохождении через образец пучок электронов теряет часть своей интенсивности на рассеяние. Эта часть больше для более толстых участков или для участков с более тяжелыми атомами. Если апертурная диафрагма эффективно отсекает рассеянные электроны, то толстые участки и участки с тяжелыми атомами будут выглядеть как более темные.Меньшая апертура увеличивает контраст, но приводит к потере разрешения. В кристаллах упругое рассеяние электронов приводит к появлению дифракционного контраста.
Микрофотография сечения нанопроволоки CoSi2, выросшей на поверхности кремния Источник: Handbook of microscopy for nanotechnology / edited by Nan Yao. Zhong Lin Wang. 2005 Kluwer Academic Publishers |
Смотреть больше слов в «Энциклопедическом словаре нанотехнологий»
(см. ЭЛЕКТРОННЫЙ МИКРОСКОП). Физический энциклопедический словарь. — М.: Советская энциклопедия.Главный редактор А. М. Прохоров.1983. ПРОСВЕЧИВ... смотреть
сокр. ПЭМ transmission electron microscope, TEM
microscopio elettronico a trasmissione
Durchstrahlungselektronenmikroskop
transmission electron microscope
microscope électronique à transmission
transmission electron microscope